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| 项次 | 内容 | 规格 |
| 1 | 电源 | AC380V 3φ 50HZ 16KVA |
| 2 | 机台外尺寸 | W1498+（257置物平台）× L2945 × H1693+（110mm活動輪） |
| 3 | 有效曝光面积 | 916mm × 610 mm （18〞× 24〞× 2片） |
| 4 | 曝光台面 | MYLAR VS 玻璃 × ２組 |
| 5 | 灯管 | 5KW × ２PCS(氣冷式燈管) |
| 6 | 曝光均匀度 | 80%以上 |
| 7 | 冷却系统 | 灯管：强制风冷式 |
| 台面：强制气冷式 | ||
| 8 | 曝光控制器 | 智慧型人机介面式，曝光能量控制系统 |
| 9 | 真空系统 | -700mm/Hg以上 |
| 10 | 客户提供使用环境及周边设备 | 1.室溫 23℃±2℃，濕度 55%～60%之清潔環境 |
2.冰水系統：7.5噸、流量75L/min、進水溫度7℃ - 11℃ 循環水管：入水管口徑1-1/4''、排水管口徑3/4'' | ||
| 11 | 特点 | (1). LCD智慧型中(英)文能量強度顯示，高頻率取樣控制系統 |
| (2). 曝光檯面採電磁鎖控制方式，方便精準。 | ||
| (3). 上、下框／燈，均可獨立能量設定。 | ||
| (4). 中(英)文版故障異常檢知顯示系統，方便操作使用。 | ||
| (5). 可自動控制進水量大小。 | ||
| (6).採用冰水冷卻系統，冷卻效率穩定，保養容易。 | ||
| 12 | 备注 | 燈箱及下框採用SS41#粉體烤漆。 |
