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| 项次 | 内容 | 规格 |
| 1 | 电源 | AC380V 3φ 50HZ 11KVA |
| 2 | 机台外尺寸 | W1340*L2100*H1800mm |
| 3 | 有效曝光面积 | 610mm*740mm |
| 4 | 曝光台面 | MYLAR VS玻璃 × ２组，采电磁锁控制 |
| 5 | 灯管 | ５KW × ２PCS(高压水银灯) |
| 6 | 曝光均匀度 | ８０％以上 |
| 7 | 灯管冷却系统 | 循环直接水冷式 (水套式) |
| 8 | 台面冷却方式 | 强制气冷式 |
| 9 | 使用环境条件 | 室温 25℃±3℃，湿度 55%±5%之清洁环境 |
| 10 | 曝光控制器 | 智能型人机接口式，曝光能量控制系统 |
| 11 | 客户提供外围配合 设备 | (1). 3 吨冷却水塔，循环水管出入口管径 3/4"配管 |
| (2). 11KVA电力系统，NFB规格为 1φ 75A | ||
| (3). 蒸馏水 60L | ||
| 12 | 特点 | (1). LCD智能型中(英)文能量强度显示，高频率取样控制系统 |
| (2). 曝光台面采电磁锁控制方式。方便精准。 | ||
| (3). 上、下框／灯，均可独立能量设定。 | ||
| (4). 中(英)文版故障异常检知显示系统，方便操作使用。 | ||
| 13 | 配备 | 入水口加装1只温控器及电磁阀 |
