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东莞市所在地
| 内 容 | 规 格 | |||||
| A.一般规格 | ||||||
| 电力系统 | AC380V 3φ 50/60HZ 12 KVA | |||||
| 光源系统 | 光 源 : 间接水冷式LED面光源灯组，输出功率大于1.7KW | |||||
| 均匀度 : 85%以上 有效曝光面积 : 22"x25" | ||||||
| 照 度 : 80mw/cm2以上 | ||||||
| Panel规格 | 尺 寸 : 12"x14"至 22"x25" | |||||
| 底片尺寸 : 24"x28"(610mm x 711mm) | ||||||
| 厚 度 : 0. 2mm至 3.0 mm | ||||||
| 曝光作业 | 单面双框作业，顺序进入曝光室 | |||||
| 底片对位系统 | 1.CCD 数量 : 4个 | |||||
| 2.CCD 功能 : 对位准度及底片涨缩检查 | ||||||
3. 对位形式 : PCB 自动对位 | ||||||
| 4. 底片固定 : 双沟槽式真空吸附，真空度-680mmHg以上 | ||||||
| 5. 靶标形式 : 上底片圆点，PC板 PAD | ||||||
| 6. 制程板固定:Pin定位 | ||||||
| 7. 制程板对位：自动对位 ± 15μm(机台能力) | ||||||
| 操作方式 | 作业方式 : 人工取放板 | |||||
| 机台尺寸 | 外部尺寸 : W1745 x D2790 x H2100 mm | |||||
| 外部变电箱尺寸: W1130 x D830 x H1000 mm（选配环控系统无此变电箱） | ||||||
| B.系统架构 | ||||||
| 曝光台框 | 双曝光台面，玻璃 VS 金属 | |||||
| 台面真空 | -200~-400mmHg | |||||
| 冷 却 | LED光源 : 循环间接水冷式 | |||||
曝光室 : 风冷
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| 客户外围配合 | 1.室温 22℃±2℃，湿度 55%±5%之清洁环境 | |||||
| 2.纯净水： 20L | ||||||
| 3. 外接气源：6Kgf/cm2 (流量60~200 L/min) | ||||||
| 选 配 | □环控系统 | |||||
| 1.环控箱尺寸: L1300 x W700 x H1930 | ||||||
| 2.外部冰水要求: 7-11 ℃／40 l/min，1"管径 x2，1/2" 管径 x 1 | ||||||
| 3.Class 5000 HEPA 高级滤网 | ||||||
