平行曝光灯源（5KW/8KW可选）

用于高解析度，小面积曝光应用，如LCD触摸屏生产，解析度可达10UM

曝光光源：5KW/短弧Hg/Xenon 365nm

曝光强度：≥30mw/cm2

平行半角：<2°

倾斜角：<1.5°

曝光均匀度：>92%

曝光区域：360*410/400*500/450*550/550*650/620*750(根据客户需求定制)

解析度（线宽/线距）：10um(0.5mil)

产品特点：

1、设备结构紧凑，外观可按客户要求设计.

2、机内备有UPS（不间断电源）装置，有效预防停电对光学器件产生的危害.

3、曝光方式有时间能量曝光两种方式，快门设计成双遮光器结构，的提高曝光时能量的均匀性。

4、设备采用人机界面和可编程控制器控制，操作简单方便，性能非常稳定.