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| 内容 | 规格 | |
| A.一般规格 | ||
| 电力系统 | AC380V3φ50HZ | |
| 曝光系统 | 光源：气冷式金属卤素灯*2，5kW | |
| 均匀度：≥80%以上 | ||
| 强度：40mw/cm²（台面） Puck(EIT)量测 | ||
| 有效曝光面积：22''*25''底片尺寸：24''*27' | ||
| Panel规格 | 尺寸：12''*12''至22''*25' | |
| 厚度：0.05mm(不含铜)至2.0mm | ||
| 曝光作业 | 双面同时曝光 | |
| 底片对位系统 | 1.CCD数量：2个/4个可选 | |
| 2.CCD功能：对位准度及底片涨缩检查 | ||
| 3.对位形式：手调对位 | ||
| 4.底片固定：双沟槽式真空吸附，真空度-650mmHg以上 | ||
| 5.靶标形式：上底片圆点，下底片圆环 | ||
| 6.对准精度：±12.5μm | ||
| 操作方式 | 作业方式：人工取放板，CCD检查靶标对准误差 | |
| 机台尺寸 | 外部尺寸：3270L*1640W*1800H+120mm | |
| B.系统架构 | ||
| 曝光台框 | 双曝光台面，玻璃VS玻璃 | |
| 曝光控制器 | 智慧型人机介面及曝光能量控制 | |
| 台面真空 | -180mmHg~-500mmHg | |
| 冷却 | 灯室：强制气冷式 | |
| 曝光室：强制气冷式，抽取室内空气经HEPA吹入曝光室 | ||
| 洁净控制 | 洁净度等级：Class 10000 HEPA过滤网 | |
| 客户提供环境及周边设备 | ||
| （1）.室温21℃±2℃，湿度55%±5%之清洁环境 | ||
| （2）.冰水系统：5吨、流量60L/min、进水温度7~11℃（依现场配管计算）进出水管径1-1/4''、排水管径/4'' | ||
| (3).外接气源：5Kgf/cm²（流量40~80L/min）管径1/4''PT快速接头 | ||
| （4）.时规皮带加装保护外盖 | ||
| （5）.玻璃大对小正压设计 | ||
| （6）.伺服马达驱动台框 | ||
