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| 内容 | 规格 | |
| A.一般规格 | ||
| 电力系统 | AC380V 3φ 50/60HZ | |
| 平行光系统 | 光源：Hg-Xe短弧灯，输出功率5KW,单灯，双面曝光 | |
| 平行半角（CHA）：约2° 倾斜角（DA）：<2° | ||
| 均匀度：≥85% | ||
| 强度：15mw/cm²@ 365 nm在玻璃台面上量测 有效曝光面积 ：546*622mm(21.5"*24.5") | ||
| Panel规格 | 尺寸：305*355mm至546*622mm(12"*14"至21.5"*24.5") | |
| 厚度：0.1mm至3.0mm(0.004"至0.117") | ||
| 曝光作业 | 高强度/双面曝光 | |
| 对位系统 | 1.CCD数量：4个(可自行设定2只/3只CCD对位或底片监控) | |
| 2.清底片警报功能程序（片数可设定） | ||
| 3.可选择单面曝光 | ||
| 4.任取CCD取像判读（ ） 固定取像CCD判读（ ） | ||
| 5.制程板对位：自动对位±20μm 6.CCD移动：自动到位 7.底片固定：双沟槽式真空吸附 | ||
| 8.底片对位：自动对位可程序时间设定曝光3组，可程序能量设定曝光4组 | ||
| 曝光量设定 | 操作系统：大型触摸屏操作接口（PC+PLC） | |
| 操作方式 | 外部尺寸：L3390*W1545*H2270 | |
| 机台尺寸 | 环控箱：L1300*W700*H1930 | |
| B.系统框架 | ||
| 曝光台框 | 双曝光台面，玻璃VS玻璃（真空吸嘴φ8mm） | |
| 内建台框玻璃真空保护装置 | ||
| 冷却 | 灯室：由环控箱吹入灯箱冷却 | |
| 曝光室：气冷，抽取室内空气经HEPA吹入曝光室 | ||
| 洁净控制 | 洁净度等级：Class 1000 HEPA 高效滤网 | |
| UV光源监控 | ||
| 光源保护：UV灯源点灯/熄灯/重点灯保护 | ||
| 功率控制：D/A转换瓦数微调输出 | ||
| 状态监视：内建电压、电流、功率及UV强度传感器 | ||
| 遮光器：横向开启，装置于灯室内 | ||
| 曝光监控：内建UV能量积算器 | ||
| 客户外围设备 | 规格1.电力：NFB40A 2.气压源：5kg/cm²以上 | |
| 4.冰水系统：7-11℃/40｜／min,1"管径*2,1/2"管径*11.内建内层三明治及CCD曝光模式 | ||
| 2.制程板固定Pin种类 | ||
| φ1.98（ ）φ2.02（ ）φ3.125（ ）φ3.0（ ） | ||
