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| 项次 | 内容 | 规格 |
| 1 | 电源 | AC380V 3φ 50/60HZ 35KVA |
| 2 | 机台外尺寸 | W1730+（258mm置物平台）*L2941*H1693+（100mm活动轮） |
| 3 | 有效曝光面积 | 1143*610mm(22"*24"*2片) |
| 4 | 曝光台面 | MYLAR VS 玻璃*2组，採电磁锁控制 |
| 5 | 灯管 | 8KW*2PCS（金属卤素灯） |
| 6 | 曝光均匀度 | 80%以上 |
| 7 | 冷却系统 | 灯管：循环间接水冷式（水套式） |
| 台面：强制气冷式 | ||
| 8 | 曝光控制器 | 智慧型人机介面及曝光能量控制 |
| 9 | 真空系统 | -700mm/Hg以上 |
| 10 | 客户提供使用环境及周边设备 | （1）.室温：23℃±2℃，湿度：55%-60%之间 |
| （2）.冷却水塔：15吨、流量120L/min、进水温度30℃（依现场配管计算）或冰水系统：7.5吨、流量50L/min、进水温度7~15℃（依现场配管计算）进出水管径1-1/4"、排水管径/4" | ||
| （3）.内部循环水：蒸馏水60L | ||
| （4）.外接气源：a.5Kgf/cm²（流量大于200L/min）管径1/4"PT快速接头 b.真空产生器气源：5Kgf/cm2(流量大于100L/min)管径1/4"PT快速接头 | ||
| 11 | 特点 | （1）.LCD智慧型中（英）文能量强度显示，高频率取样控制系统 |
| （2）.曝光台面採电磁锁控制方式。方便精准。 | ||
| （3）.上、下框/灯，均可独立能量设定。 | ||
| （4）.中（英）版故障异常检知显示系统，方便操作使用。 | ||
| （5）.可自动控制进水量大小，避免冬夏季及使用冰水机产生问题 | ||
| （6）.採7.5HP涡捲式压缩机，节省能源功率大 | ||
| 12 | 备注 | 10KW安定器所有放板需加宝塔型导气条 |
