主要技术参数：

1、 主机电源：380V/50Hz 2.5Kw  

 2、反应室尺寸： 344×105mm

 3、电极 直径  ：Ф290mm  

4、两极板间距  ：10～30mm可调        

5、反应室极限真空度  ：优于 4Pa

6、装片量  ：    Ф 35mm  44片 、 Ф 50mm  20片 、 Ф75mm  8片 、 Ф100mm  5片

7、高  频  源  ：功率0～1000W可调，P290型为自激式电源频率范围10Mc～13Mc，P290A型为它激式电源，频率为13.56Mc，                             带有功率匹配和功率计

8、工作周期：小于20分钟，每小时可完成3次刻蚀            

9、真空泵： 2X-4型

10、外型尺寸：1120×550×1260（mm）              

11、 净重：150Kg