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该设备是固体器生产过程涂复光刻胶的专用设备。采用电子调速、光电测速 、转数字显示。具有转速平稳、操作简便、可靠性高等特点,各旋转工位运转系统独立控制。使用高速电机旋转真空工位吸附利用离心作用,并有低高两次转速的运转方式,使涂敷胶膜均匀性更好,适合科研单位和生产单位进行大批量生产使用。
主要技术指标:
1、电源:380V/220V/50Hz 1100W
2、转速:200~9000r/min(无级)
3、匀胶时间:0-60秒
4、适合片径:≤Ф100mm
5、匀胶工位:1-4(可根据客户需求定做)
6、外型尺寸:800×500×1800mm
7、整机重量:110Kg
8、预留100级层流罩安装位