主要构造:

1、采用无刷伺服电机，全闭环数字编码器 测速机构，实测整个过程马达速度。

2、机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈 钢、生锈，便于清洗。 

3、排风和抽气系统位于载片台底部 (以 利于排风效率和匀胶均一性)。 

4、透明可视密封盖可以在旋涂作业时完 全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味 的散发。 

5、配有真空泵电源输出接口与抽气接口， 由界面集中控制。 机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清 洁）

主要性能指标: 

1、旋涂程序：用户通过 PC 界面设置和存 储工艺参数，可存储 15 组参数，支持 多段速。

2、转动速度：0-5,000rpm 旋涂加速度：0-5000rpm/sec 转速稳定度 ±1rpm 

3、测速精度<0.2rpm 工艺时间设定： 09,999.9 sec/step 0.1  精度

4、可镀膜尺寸 5mm-200mm(8〞) 旋涂不均匀性：< ±3%  支持基片厚度≤5mm

5、设备尺寸 15〞(380mm ) W × 11.4〞 (290mm ) D × 10〞 (260mm ) H  配置配置配置配置规格规格规格规格 

6、匀胶腔室：内径 Ф260mm ，不锈钢材 质、可视透明上盖 

7、抽气接口: Ф8mm 快速接头，配 Ф8mm 透明抽气管 

8、样片托：标配 1 英寸一个，2 英寸一个

9、真空泵：配 100L/min 无油真空泵一台。 

10、电源输入： AC220V/240V 50Hz 

11、整机功率：630W （真空泵 230W 主 机 400W） 

12、机身重量：11Kg