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CPN-HT-300 型烘胶台在半导体工艺制 备过程中,主要用于光刻工艺中的前烘和 坚膜,具有烘胶速度快、均匀、控温精度 高等特点;可长时间连续稳定工作,可广 泛应用于生产。
技术指标与配置:
1、电源输入: AC 220/240V,50HZ
2、功率:600W
3、烘烤温度:室温~200℃
4、控温精度:±1℃
5、控温形式:采用温控仪 PID 调节(功 率调节),自动测温,控温。
6、热板规格:Φ200
7、热有效区域:≤Φ200
8、外形尺寸:280×360×270
9、整机重量:10Kg.
10、控温扩展模式、自由式升降温智能控制模式 CPN-HT-300 型烘胶台可根据用户需求 扩展控温模式,该仪器搭配可遍程序型智能 仪表,来实现任意给定值升、降斜率,曲线 式控温的需求,适合不同场合对温度的特殊 控制要求