Mini型全自动匀胶显影一体设备，采用我司自主研发设计的机器人与胶泵，并在客户端成熟应用。设备功能齐全，EBR、BSR、CUP自动清洗、胶嘴自动保湿清洗等功能都具备。还有针管式胶嘴可选择，大幅减少了光刻胶的使用量。机台结构紧凑、占地面积小。 晶片尺寸
2-6英寸，圆形及方形基片，光刻胶旋涂及显影工艺

主要技术参数
1、晶片尺寸： 2-6英寸
2、上下料方式： 高效机械手自动传送
3、离心机转速
额定转速： 6000 rpm
最小调整量： 1rpm
转速精度： ±2rpm（50 rpm～6000 rpm）
4、吸盘(Chuck)
夹持方式： 真空吸附
吸盘真空检测： 数显真空压力传感器
5、光刻胶/显影液过滤： 有，0.1um/0.2um可选
6、光刻胶种类：          MAX：3（双腔MAX：6）
7、显影液种类：          MAX：2
8、 热处理单元：          热板HP单元（max.180℃） 3个，冷板CP单元1个，根据工艺制程不同可灵活选配
9、滴胶精度：             ±0.1ml ；滴胶范围：0.6-3ml
10、软件功能：            工艺参数数字化检测控制，自由编制、修改、储存、调用工艺程序；故障、生产工艺参数等记录等可长期保存备查
11、工作方式：            自动供胶，自动显影，自动取送片

应用行业
广泛服务于半导体、LED、封装、MEMS、OLED、SAW、光通信、科研等领域