高产能机台结构紧凑，占地面积小，布局采用的分体式结构，高速机器人在工艺单元间传递，同时工艺单元中采用共用摆臂结构，使单元结构尺寸大幅减小，单元配置更加灵活；另外机台采用了目前的软件平台调度功能，可以充分发挥机器人的利用率，减少机器人与各工位的等待时间，全新的软件操作界面，使操作员更方便直观的使用，大大提高工作效率，减少失误率。机台产能可达280WPH。 晶片尺寸
2-6寸

技术参数
1、晶片尺寸： 2-6英寸
2、上下料方式： 高效机械手自动传送
3、离心机转速
额定转速： 6000 rpm
最小调整量： 1rpm
转速精度： ±2rpm（50 rpm～6000 rpm）
4、吸盘(Chuck)
夹持方式： 真空吸附
吸盘真空检测： 数显真空压力传感器
5、 收集杯材质(CUP)： PP，气液分离排放
6、 CUP自动清洗功能： 有
7、 电机漏液防护功能： 有
8、 光刻胶/显影液过滤： 有，0.1um/0.2um可选
9、 热处理单元：          热板HP单元（max.180℃）10个，冷板CP单元2个，根据工艺制程不同可灵活选配
10、光刻胶供应：          采用高精度气动/电动计量泵
11、显影液供应：          采用N2加压
12、滴胶精度：            ±0.1ml ；滴胶范围：0.6-3ml
13、工作方式：            自动供胶，自动显影，自动取送片
14、产能：            280WPH

应用行业
广泛服务于半导体、LED、分立器件、功率器件等领域