1）控制系统由PLC触摸屏构成，故障率低，可靠性强，操作简单，易于维护。

2）传片方式通过导轨丝杆传动。

3）主轴使用高速直流无刷电机，带数字显示，精确控制转速。

4）自主设计开发薄膜式的喷胶泵，出胶稳定，自带回吸，保证了定量滴胶，可节省光刻胶用量。

5）效率高，双轴运动方式，上料与下料单独控制，采用双加热盘，降低等待时间。

6）设置灵活，多功能。通过一键设置，可将自动滴胶转换为手动滴胶。

7）热板控温方式为可控硅，自带超温保护系统，热板均匀性好。热板采用顶针升降，方便硅片烘烤。

                 转速                       6000RPM

                 转速精准度                    ≤1-4%RPM

     匀胶     滴胶手臂控制                  步进马达       

                 滴胶头位置精准               ≤0.2mm

该设备为全自动上下料匀胶设备，主要应用于3-5寸方形晶圆涂胶、烘干，采用标准片盒收放片，自动运行。该设备为单轨道形式，上料、涂胶、烘干、取料。