卧式甩干机SA-SV702-D
品牌
其他厂商性质
上海市所在地
首昂光电（上海）有限公司
组合推荐相似产品
晶圆激光刻号机
晶圆激光割圆机
晶圆自动切边机
晶圆激光刻号装篮机
光纤激光打标机
全透明塑料激光焊接机
晶圆激光切割机
晶圆切割软件
晶圆自动切割机
红外激光划片机
紫外激光划片机
晶圆激光打孔机
88式手臂传片匀胶机
86式皮带传片匀胶机
显定影机
卧式甩干机SA-SV702-C
立式甩干机SA-SV422
立式甩干机SA-SV4J
为本公司针对4~6”制程之需求，可控制0.3微尘颗粒70颗，其功能主要有清洗，高速脱水，低速烘干。
技术参数：
1、设备用于4~6英寸硅片甩干工艺。
2、每批处理晶圆数量为50片,25片/腔体。
3、甩干机为上下双工艺腔体设计，腔室内部为不锈钢，特殊工艺可依据客户要求镀特氟龙防腐镀层。
4、转子的动平衡为片盒中的硅片从0～25片。
5、建议转速1800-2000转/min。
6、颗粒度增加值<70 (0.3 um) ； 甩干后表面无水渍、无污染物。
用于4寸～6寸晶片的清洗甩干，能根据客户定制各种规格。
首页
展台
留言
联系方式
请选择您要拨打的电话：
