卧式甩干机SA-SV702-D
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首昂光电（上海）有限公司
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为本公司针对4~6”制程之需求，可控制0.3微尘颗粒70颗，其功能主要有清洗，高速脱水，低速烘干。
技术参数：
1、设备用于4~6英寸硅片甩干工艺。
2、每批处理晶圆数量为50片,25片/腔体。
3、甩干机为上下双工艺腔体设计，腔室内部为不锈钢，特殊工艺可依据客户要求镀特氟龙防腐镀层。
4、转子的动平衡为片盒中的硅片从0～25片。
5、建议转速1800-2000转/min。
6、颗粒度增加值<70 (0.3 um) ； 甩干后表面无水渍、无污染物。
用于4寸～6寸晶片的清洗甩干，能根据客户定制各种规格。
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