产品介绍：

1）控制系统由PLC触摸屏构成，故障率低，可靠性强，操作简单，易于维护。

2）传动方式通过皮带传片（86式），手臂传片（88式）。

3）主轴使用高速伺服电机，带数字显示，精确控制转速。

4）喷淋显影两路液罐，一路氮气。也可由客户工艺配置液路和气路。

                 转速                       6000RPM

                 转速精准度                    ≤1-4%RPM

     匀胶     滴胶手臂控制                  步进马达       

                 滴胶头位置精准               ≤0.2mm

该设备为全自动上下料匀胶设备，主要应用于3-6寸晶圆喷淋显影定影工艺，采用标准片盒收放片，自动运行。该设备为双轨道形式。