EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。

   产品性能介绍：

◆   结构紧凑

EZ4外型尺寸为：210(W)*250(D)*200(H)，特别适合放于手套箱内操作。可旋涂4寸圆晶的底物。

◆   简单易用

文本显示屏，界面简单易用，清晰的功能按键，方便灵活操作。

◆  程控操作

可提供单步或多步编程旋涂工艺运行，最多可运行5步不同转速及加速度的旋涂程序。

◆   性能稳定

工业级直流马达，单片机控制，转轴旋转稳定，重复性好。

◆   设计新颖

全铝合金外壳，阳极氧化铝耐腐蚀机身。全PP注塑耐腐蚀易清洁旋转腔，PC耐腐蚀透明盖。

产品参数说明：

 ●PP耐腐蚀、易清洁注塑内腔，HDPE耐腐蚀真空吸盘l

 ●阳极氧化铝耐腐蚀机身，美观耐用l

 ●耐溶剂性PC透明盖子，恒定扭矩定位功能l

 ●文本显示器，按键控制l

 ●75W直流无刷电机，单片机控制l

 ●可处理碎片（小于1cm）至4英寸圆晶底物l

 ●转速可控范围：100-9999RPM，转速分辨率：1RPMl

 ●加速度可控范围：100-9999RPM/Sl

 ●单步步长：3000s，时间分辨率：1s

 ●可进行多步程序运行，最多编辑运行5步程序l

●宽输入电压适用：AC100-230V输入

产品外形尺寸：外形尺寸：210 (W) * 265(D) *213(H)