IC5000可控温匀胶机

可控温匀胶机----边旋涂，边加热，转盘可控温，发明的加热控温型匀胶机

产品特点：

●载物盘加热型匀胶机，可实现边加热边匀胶处理

●HDPE高分子内腔，PC透明盖，钣金烤漆外壳

●可靠的隔热设计，确保电机及元器件安全

●24V加热部件，确保过程中安全可靠

●可嵌入式安装设计，降低高度放置在手套箱内

产品参数：

●转盘加热控温范围：室温-150℃

●温度分辨率：0.1℃

●控温精度：<±0.5℃（稳定后控温精度）

●转盘温度均匀性：≤±2%

●转速范围：100－5000RPM

●加速度范围：100－5000RPM/S

●转速分辨率：1RPM

●单步旋涂时间：3000S

●时间分辨率：1S

●可编程：100组100步

●可升级一路自动点胶功能

●标配可调卡爪载物盘(10-30方片或圆片可调)，其它需定制

●为避免基片全接触加热盘与抽真空干涉，标配不带抽真空

●外型尺寸：280mm(W)*404mm(D)*270mm(H)