产品特点：

●高级伺服电机驱动，高精度、高重复性

●PLC控制，7寸全彩触摸屏操作

●HDPE内腔，SUS外壳，耐溶剂PC透明盖

●可添加背洗和去边胶功能，满足工业用途

●可嵌入式安装在手套箱内，降低操作高度使用

●可处理基片尺寸小于1cm碎片至8“圆形底物

产品参数：

●转速范围：0－10000RPM

●加速度：0－50000RPM/S

●转速精度：±1RPM（AC200-SE）

        ±0.1RPM（AC200-PE）

●单步时间设置：0-3000S

●时间分辨率：0.1S

●可编程：100组100步

●带4只自动点胶端口，可升级多路自动点胶功能

●标配三种规格载物盘：直径10mm,25mm,55mm

●VPC200无油真空泵可选

●外型尺寸：306(W)*433(D)*306(H)