4" 高功率空气轴承主轴，30krpm时2.5KW。直流无刷电机，闭环速度控制。覆盖 12" 的圆形产品、12" x 9" 方形基板带框架或 12" x 12" 卡盘（不带框架）。

系统配有闭环转向台，针对多角度切割进行优化，适用各种产品，例如：

• 陶瓷基板

• 氧化铝

• 混合物

• 厚膜设备等

系统规格：

大面积系统配置：300mm x 300mm

刀片尺寸：4"-5"

主轴：空气轴承，直流无刷，30 krpm/2.5 kW

分度轴（y）

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机

控制：线性编码器

分辨率：0.2 µm

累积精度：1.5 µm

分度精度：1.0 µm

传送轴（X）

气动滑块

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配直流无刷电机

传送速度：高达 600 mm/sec

切割深度轴（z）

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机

分辨率：0.2 µm

精度：2.0 µm

重复精度：1.0 µm

行程：50 mm

旋转编码器

Z线性编码器 - 可选件

Z间隙高达3" - 可选

旋转轴 (Ø)

驱动：闭环、直接驱动、直流无刷

精度：4 arc-sec

重复精度：4 arc-sec

行程：350度

视觉系统

数码摄像头、Fire-Wire技术、高亮LED照明（直射和斜射）

x55-x210或x35-x140（可选）连续数字变焦。

设施

电气：200-240VAC，50/60Hz，单相

气源：260 L/min @ 5.5bar

主轴冷却水：1.1 L/min厂务端用水

切割用水：3L/min

尺寸（WXDXH）

965×1300×1600 mm

重量：900 kg