ADT 8230是一款高效率、高精度、高性能、低成本的双轴(对向)全自动晶圆切割机。切割工件尺寸可达12英寸。

特征和优势

•灵活性-支持3英寸刀片

•支持1.8KW或2.2KW大功率主轴(适用于更高要求的切割)

•使用17英寸触摸显示屏，操作界面直观

广泛应用性

•硅材料晶圆/分立器件

•碳化硅晶片

•MEMS产品

•SAW器件

•玻璃材质晶圆

•封装(QFN,LED...)

操作便利性

ADT 8230系统使用开发的图形用户界面(GUI), 17英寸触摸显示屏具有更好的灵活性和视觉效果。

其它重要特征

•切割效率高-大幅降低使用成本

•空气主轴

•快速自动对齐及切割定位，提高切割效率

•高精度的自动刀痕检测及切割质量分析

•切割过程数据记录和统计分析

•更换刀片时锁定主轴，操作更快速、简便

•SECS/GEM通信标准

•机器维护时可触及系统的任何区域，带来维护的便利性