2"，直流无刷，1.2 kW，前置挂载，空气轴承主轴（转速60rpm），闭环转台。

经过优化，适用于200 mm x 200 mm较薄和小公差产品的多角度切割，如：

• 光电组件

• PCB BGA面板

• 高亮LED封装

• 硅晶圆

• SAW过滤器

• 玻璃/硅传感器

• 微机电系统（MEMS）

• PZT

系统规格:

工件尺寸：200 x 200mm

刀片尺寸： 2"-3"

主轴：空气轴承，直流无刷，60 krpm/1.2 kW

大功率2.4kW主轴（可选件）

分度轴（y）

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机

控制：线性编码器

分辨率： 0.2 µm

累积精度：1.5 µm

分度精度：1.0 µm

传送轴（X）

气动滑块

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配直流无刷电机

传送速度：高达 600 mm/sec

切割深度轴（z）

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机

分辨率：0.2 µm

精度: 2.0 µm

重复精度: 1.0 µm

行程: 50 mm

旋转编码器

Z线性编码器 - 可选

Z间隙高达3" - 可选

旋转轴 (Ø)

驱动：闭环、直接驱动、直流无刷

精度: 4 arc-sec

重复精度: 4 arc-sec

行程：350度

视觉系统

数码摄像头、Fire-Wire技术、高亮LED照明（直射和斜射）

x55-x210或x35-x140（可选）连续数字变焦。

设施

电气：200-240VAC，50/60Hz，单相

气源：260 L/min @ 5.5 bar

主轴冷却水：1.1 L/min 厂务端用水

切割用水：3L/min

尺寸（WXDXH）

965×1300×1600 mm

重量: 900 kg