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应用：
6寸硅片、陶瓷、PCB板、EMC、石英、玻璃、砷化镓、铌酸锂等材料的精密切割；广泛用于IC集成电路，LED砷化镓芯片、二极管、三极管、LED封装、NTC、MEMS、IC、光伏、、闪烁晶体等行业。
低气压、水压、工作台伺服、转台伺服、主轴驱动、测高系统、控制系统的故障报警，操作腔门安全锁，漏水检测、主轴电流监控、真空不足保护功能。
| 工作物尺寸 | mm | ø 6"或160mm×160mm方形 | ||
| X轴
| 可切削范围 | mm | 165 | |
| 进刀速度输入范围 | mm/s | 0.1 - 500 | ||
| Y轴
| 可切削范围 | mm | 165 | |
| 单步步进量 | mm | 0.0001 | ||
| 定位精度 | mm | 0.003以内/165 0.002以内/5 （单一误差） | ||
| Z轴
| 有效行程 | mm | 35(使用ø2"切割刀片时) | |
| 移动量分辨率 | mm | 0.00005 | ||
| 重复精度 | mm | 0.001 | ||
| 可使用的切割刀片直径 | mm | Ø 58 | ||
| θ轴 | 旋转角度 | deg | 320 | |
|
| 转角精度 | ″ | 15（直驱电机） | |
| 主轴
| 额定输出功率 | kW | 1.5（1.8、2.4可选） at 30,000 min-1 | |
| 额定扭矩 | N･m | 0.48 | ||
| 旋转数范围 | min-1 | 3,000 - 40,000 （60,000*） | ||
| 可使用的框架 | - | 6寸 | ||
| 其他 规格
| 电源 | V | 三相AC380V ±10％ 上述以外需配置变压器 | |
| 耗电量 | 加工时 | kW | 0.5（参考值） | |
| 暖机时 | kW | 0.3（参考值） | ||
| 耗电量 | kVA | 3.2 | ||
| 压缩空气供给压力 | Mpa | 0.5 - 0.8 | ||
| 压缩空气消耗量 | L/min（ANR） | 185 | ||
| 切削水压力 | Mpa | 0.2 - 0.4 | ||
| 消耗量 | L/min | 4.0 | ||
| 冷却水压力 | Mpa | 0.2 - 0.4 | ||
| 消耗量 | L/min | 1.5（在0.3MPa时） | ||
| 排风量 | m3/min | 1.5 | ||
| 设备尺寸（W × D × H） | mm | 600 × 970 × 1,600 | ||
| 设备重量 | kg | 约600 | ||
使用条件：
1. 请将机器设在20~25℃的环境中（波动范围控制在±1℃以内）；室内湿度＜80%，无凝结。
2. 请使用大气压露点在-15℃以下，残余油份为0.1ppm，过滤度在0.01um/99.5以上的清洁压缩空气。
3. 请将切削水的水温控制为室温+2℃（波动范围在±1℃以内），冷却水的水温控制为与室温相同（波动范围控制在±1℃以内）。
4. 请避免设备受到重力撞击以及外界任何振动威胁。另外，请不要将设备装在鼓风机、通风口、产生高温的装置以及产生油污的装置附近。
5. 请把本设备安装在有防水性地板以及有排水处理的场所。
6. 请严格按照本公司产品使用说明书进行操作。
