AFTEX-8000系列成膜设备

使用高活性高密度ECR（电子回旋共振）等离子体源，通过在等离子体引出部配置目标，实现基于固体源的ECR等离子体成膜。因为不需要使用CVD那样危险的气体，所以不需要排气处理，是对地球环境友好的成膜技术。 参考价面议

搜索历史