AFTEX-8000系列成膜设备

AFTEX-8000系列成膜设备

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-10-08 10:27:40
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苏州铼铂机电科技有限公司

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产品简介

使用高活性高密度ECR（电子回旋共振）等离子体源，通过在等离子体引出部配置目标，实现基于固体源的ECR等离子体成膜。因为不需要使用CVD那样危险的气体，所以不需要排气处理，是对地球环境友好的成膜技术。

详细介绍

AFTEX-8000系列是在1个成膜室搭载2个倾斜配置的ECR等离子体源，在高质量的光学薄膜等8英寸直径的基板上形成均匀性出色的多层膜，C to C枚叶式全自动多层膜形成装置。使用高活性高密度ECR（电子回旋共振）等离子体源，通过在等离子体引出部配置目标，实现基于固体源的ECR等离子体成膜。因为不需要使用CVD那样危险的气体，所以不需要排气处理，是对地球环境友好的成膜技术。

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