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大途划片机，型号：DPS-402NR2
本装置是能在GaAs、InP 等化合物半导体基板上自动地找平定位后，解理用的划线设备。
・本装置是1 次/2 次划线及全划线芯片化的兼用机。
・划线的找平中都使用了图像处理装置。
大途裂片机，型号：DBM-412NR
裂片机：本装置系为了芯片化对实施全线后的GaAs、Inp 等半导体基板进行裂片的设备。
在带图像处理装置型式的场合，利用图像处理装置，可以自动找平基板和定位。
・本装置是1 次/2 次裂线及全划线芯片化的兼用机。
・划线的找平中都使用了图像处理装置。
