设备型号

G6001

激光器

50uj@1030nm，300fs，5W，0-1000KHz

平台精度

重复精度±0.5um，定位精度±1um@20℃±1℃

平台运行速度

运行速度100mm/s，速度1000mm/s

平台运行加速度

运行加速度1.8G，加速度2.5G

修复范围

300*300mm

电动狭缝

0-2.5mm，步距0.1um，±45度可调±1度

WDI

相应时间50us

相机

2000W像素，≤1微米

自动对焦

3s

镜头切换

0.5S

AOI时间

5s/3亮点平方英寸

修复像素形状

条形、矩形、方形、菱形、圆形、多边形

修复产品

Micro LED，Micro OLED HD，FHD，QHD，UHD 亮点修复