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● 智能识别和追溯
● 高兼容性
● 高精度矫正、高精度划线
● 高纯度无损掺杂
● 光电转换效率高
● 运行稳定,便于维修
| 设备型 号 | G8003 |
| 激光器 | >100W； 稳定性 < 2%RMS；衰减1年 < 5% ， 2年 < 10% |
| 激光寿命 | > 20000小 时 |
| 光斑尺 寸 | 80 ~100 um |
| 振镜重复精度 | ±10u m |
| 扫描速度 | > 50 m/s |
| 适用 硅片 尺寸 | 182 *182mm - 230 * 230 mm |
| 产 能 | 182尺寸 > 9000片/小时 ( 栅线数量 < 132) ； 210尺寸 > 7500片/小时 ( 栅线数量 < 152 ) |
| 划线光斑尺寸 | 90＊90 ± 5u m ， ( 80 ~ 100 um可调 ) |
| 视觉定位精度 | ±15um |
| 碎片检测尺寸 | > 0 . 5 m m * 0 . 5 m m |
