激光器

>100W    ， 稳定性<2% RMS ， 使用寿命>20000小时

适用硅片尺寸

182*182mm-230*230mm

单晶碎片率

≤0.015%@18x士0.5*18x士0.5；≤0.02%@210士0.5*210士0.5

激光器扫描定位精度

±15um

效率增益

≥0.35%(不低于同行水平)

划线光斑尺寸

面扫光斑大小：1-1.2mm

产能

匹配丝印工序产能 ，基于硅片尺寸 :  18x士0.5mm*  (18x士0.5mm-210mm) ，单台       机产能>9600片/小时 ， CT<0.75S；   基于硅片尺寸 :  210士0.5mm*21x士0.5mm ，      单台小时 ， CT<0.8S