产品简介：

EZ4匀胶机适用于给小碎片至4英寸晶圆大小的基底旋涂光刻胶及其他试剂，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。EZ4匀胶机设计结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。

产品性能参数：

1. 支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圆晶）

2. 速度可调范围：100-10000rpm

3. 加速度可调范围：100-10000rpm/s

4. 转速分辨率：1rpm

5. 转速精度：＜±5rpm

6. 可编程5组5步程序

7. 宽电压输入：AC100-230V

8. 产品外型尺寸：250mm(D)*210mm(W)*204mm(H)

产品特性优点：

1. 75W 直流无刷电机，单片机控制

2. 高清晰文本显示器

3. 可单步和多步匀胶操作

4. PP耐腐蚀内腔，可更换

5. 铝合金阳极氧化外壳，美观大方

6. 耐溶剂PC透明盖

7. 多角度定位铰链设计

8. HDPE真空吸盘