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1. 产品简介：
微流控芯片的设计结构一般深宽比较大，针对微流控芯片这一特点，中芯启恒自主研发生产了Cchip-0019适用于高深宽比工艺的光刻机。该设备采用目前最*的LED光源，紫外波长365nm，光源纯度高，辐射能量均一可调。设备配有智能化触摸屏操作面板，外观比较传统光刻机体积更小，集成化度更高，不仅简化了操作流程，还进一步提高了工艺效率。
不仅如此，我们还对曝光系统进行了优化，将曝光过程中衍射误差降到极限，保证图案设计值与实际值一致，从而为芯片制作保驾护航。
以下是客户实测图片，结构高度92um，间距20um，请参考！
