1．技术特征

1）非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，全自动）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）

2）采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。

2．技术参数

1）曝光面积：6英寸

2）曝光波长：365nm

3）分辨力：1-1.2mm（胶厚2 mm的正胶）

4）对准精度：±0.8mm

5）掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

6）掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

7）样片尺寸：直径f15mm-- f150mm（各种不规则片）                 

                  厚度0.1mm--6mm

8）曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

9）具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

10）照明不均匀性： 6%（f150mm 范围）

11）双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：10倍、16倍、20倍

12）调平接触压力通过传感器保证重复

13）数字设定对准间隙和曝光间隙

14）具备压印模块接口，也具备接近模块接口

15）掩模相对于样片运动行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6º

16）焦厚：350mm（SU8胶，用户提供检测条件）

17）光源平行性：3.5 º

18）曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面温度<35 º

19）单层曝光一键完成

20）采用球气浮自动找平

21）汞灯功率：350W（直流，进口）

3．外形尺寸：1200mm（长）´900mm(宽) ´1750mm（高）

4．配置

4.1. 曝光头

1）冷光椭球镜

2）350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

3）XYZ汞灯调节台

4）冷却风扇

5）光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2

4.2. 对准工件台

1）掩模样片整体运动台

2）掩模样片相对运动台

3）转动台

4）样片调平机构,三点自动完成

5）样片调焦机构，电机自动调

6）基片抽拉式上下机构

7）承片台4个：f15mm 、3英寸、4英寸、6英寸（可按用户要求增减）

8）掩模夹4个：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸（可按用户要求增减）

4.3. 对准显微镜

1）光源（配备品2只）、 电源

2）双目双视场对准显微镜主体

3）目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

4）物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

5）CCD对准系统，21寸液晶显示器

4.4. 电控系统

1）汞灯触发电源(350W直流汞灯)

2）单片机控制系统

3）控制柜桌 

4.5. 气动系统

1）气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

2）电磁阀驱动

3）气动仪表 

4.6. 其他附件

1）真空泵一台

2）空压机一台

3）管道

4.7. 技术资料

1）使用维修说明书

2）显微镜使用说明书