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1．技术参数
l 曝光面积：150mmX150mm
l 曝光波长：365nm
l 分辨力：0.8-1um（胶厚2 um的正胶）
l 对准精度：±0. 6um
l 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
l 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
l 样片尺寸：直径f15mm-- f150mm（各种不规则片）
厚度0.1mm--5mm(可拓展至15mm)
l 曝光方式：定时（倒计时方式），0.1s-9999s
l 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
l 照明不均匀性： 2.5%（f100mm 范围） 5%（f150mm范围）
l 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数400倍，光学+电子放大800倍
物镜三对：4倍、10倍、20倍
目镜三对：10倍、16倍、20倍
l 调平接触压力通过传感器保证重复
l 数字设定对准间隙和曝光间隙
l 具备压印模块接口，也具备接近模块接口
l 掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 胶厚：500mm(SU8胶)
l 光源平行性：2°
l 曝光能量密度：>18mW/cm2
l 冷却方式：循环水+风冷
l 曝光面温度：<30°C
l 汞灯功率：1000W（直流，进口
2．外形尺寸：1400mm（长）´1200mm(宽) ´1950mm（高）
3．配置
（1）曝光头
l 冷光椭球镜
l 1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)
l XYZ汞灯调节台
l 冷却风扇
l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（109个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
l 循环水冷系统
（2）对准工件台
l 掩模样片整体运动台
l 掩模样片相对运动台
l 转动台
l 样片调平机构,自动完成
l 样片调焦机构，自动调
l 承片台4个（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）
l 掩模夹4个（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）
l 基片抽拉式上下片机构
（3）对准显微镜
l 光源（配备品2只）、电源
l 双目双视场对准显微镜主体
l 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
l 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
（4）CCD对准系统(选配)
l 光源（配备品3只）、电源
l 成像光学系统（两套）
l 数据采集卡
l 三维工件台（两套）
l CCD（2只）
（5）电控系统
l 汞灯触发电源(1000W直流汞灯)
l 单片机控制系统
l 控制柜桌
l 计算机系统及液晶显示器
（6）气动系统
l 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
l 电磁阀驱动
l 气动仪表
（7）其他附件
l 真空泵一台（无油泵）
l 空压机一台（泵）
l 管道
（8）技术资料
l 使用维修说明书
l 显微镜使用说明书
