一．产品性能介绍：

EZ6是一款设计结构紧凑、简单易用，触摸屏操作，性能优异的灵巧型匀胶机。

1）结构紧凑

 EZ6外型尺寸较小，适合直接放于手套箱内操作。可旋涂6寸圆形基底。

2）简单易用

彩色触屏控制，界面简单易用，且自带帮助功能，提供使用向导，对初次使用者非常方便。

3）程控操作

提供多步编程旋涂工艺运行，最多可存贮10组10步程序，还可升级自动点胶功能。

4）性能稳定

工业级直流马达，转轴旋转稳定，重复性好；真空系统设计，可靠性高。

二．产品参数说明：

1）HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能

2）SUS耐腐蚀不锈钢机身，耐溶剂性PC透明盖子，经久耐用

3）4.3寸全彩触屏人机界面，提供触屏笔操作

4）100W直流无刷电机，单片机控制

5）内腔直径200mm，可处理碎片（小于1cm）至6英寸圆晶底物

6）.转速可控范围：100-12000rpm，转速分辨率：1rpm

7）加速度可控范围：100-30000rpm/s

8）可进行多步程序运行，最多可存贮10组10步程序

9）带一只自动点胶端口，可升级自动点胶功能

10）宽输入电压适用：AC100-230V输入

11）带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全

12）可选择设置开机密码功能，提高设备操作安全性

三．产品附件选择：

1）标配三种真空载物盘（直径10mm,25mm,55mm），适于碎片至6寸圆形底

物的处理

2）可根据基片尺寸和要求可提供嵌入式或档杆式定制载物盘的设计加工

3）用于柔性薄膜基片可提供定制微孔陶瓷真空吸附载物盘

4）无油真空泵（抽气量15L/min以上）或真空发生器可选

5）4-6寸手持式对中装置可选

6）盖子上点胶针筒支架手动点胶可选配

7）瓶口分液器手动计量点胶可选配

8）蠕动泵/点胶机等自动点胶装置可选配