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1. 产品简介:
Harrick Plasma是国际的等离子清洗器生产商,在业内已经有三十多年的经验。他所生产的小型等离子清洗器结构紧凑、质量可靠、价格合理;广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。
2. 主要特征:
1)台式设计,结构紧凑精致
2)低、中、高三档可调节功率,可为30W
3)设备辐射小,安全环保
3. 基本参数:
1)外形尺寸:11"H x 18"W x 9"D(279mm x 457mm x 228mm)
2)重量:20.0kg
3)输入电源:220 V / 50Hz
4) 输入功率:200 W
5)功率档:
低档716V DC、10mA DC、7.16W
中档720V DC、15mA DC、10.15W
高档740V DC、40mA DC、29.6W
6)常用工作气体:
空气、氩气、氮气或混合气体等
7)基本配置:
直径6英寸,长6.5英寸的耐热玻璃舱体。
可拆卸舱盖。
含磁力锁和可视窗的铰链舱盖。
为30W的RF线圈。
1/8英寸NPT针阀
1/8英寸NPT三通阀
8) 选配件:
石英等离子清洗舱
石英托盘(用于放置样品)
气体计量混合器Plasma FloTM
9)周边设备:
基本型专用真空泵(PDC-VPE-2)
4. 可选件:
4.1. 选件一:气体计量混合器PlasmaFloTM
功能及配置简介:
1)Harrick PlasmaFloTM气体计量混合器是一台可任选的以满足客户的不同需求的备件。主要应用于样品的表面改性。
2)在等离子清洗过程中气体流混合和压力监视。
3)为向舱内注入两种气体提供了可能。
4)含两个标准的气体流量计(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5)温差电偶真空度表测量舱内压力
6)适用气体:空气、氮气、氩气或混合气体。
7)尺寸:8 1/2"H x 10"W x 8"D
8)订货号:PDC-FMG-2
4.2. 选件二:真空泵
Harrick等离子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm),压力为200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。
PDC-VP-2 (220V)
1) 抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
2) 极限压力(气镇关):1.5 mTorr
3)极限压力(气镇开):23 mTorr
4) 电机功率:(50/60 Hz): 250/300 W
5)重量: 34 lbs
6)尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
4.3. 选件三:石英等离子清洗舱及托盘