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RTP-1200小型快速退火炉(RTP/RTA)为韩国进口的快速退火炉。
该仪器:尺寸小巧,使用风冷、无须水冷,电流要求不高(3安培),性价比高,使用方便,非常适合科研院所的科研使用。
技术规格:
- 加热方式:红外卤素灯,600W;
- 红外灯数量:4支;
- 升温速率:100℃/秒;
- 降温速率:50秒(1000℃ → 400℃);
- 温度:1200℃;
- 温度精度:+/-0.3℃
- 样品尺寸:15 x 20mm;
- 退火环境:真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢氮混合气等);
- 真空泵及极限压力:机械泵,10-3Torr水平(选配);
- 电压:220 V,单相;
- 仪器尺寸:400*300*450mm (W*D*H);
- 质量:净重30Kg;
仪器特点:
应用领域:
参考用户:
北京大学、南京大学、吉林大学、湖南大学、广西大学、齐齐哈尔大学、西北大学、中科院北京纳米所、中科院苏州纳米所、苏州EST等。