快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合12英寸晶圆或300mm x 300mm大尺寸样品的热处理。
 

仪器特点：
  -  快速热处理、快速热退火  RTP / RTA；
  -  可在真空、甚至于高真空环境使用；
  -  加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；
  -  广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm x 156mm电池片，300mm x 300mm电池片等；

 
参考用户：
中科院上海技术物理所，41所，中铝集团，西安炬光等；