德国尤尼坦回流焊炉主要用于研究开发和小规模生产。尤尼坦多个型号回流焊系统主要分为4个系列：

• • RSS系列小型回流焊系统：RSS-110-S, RSS-160-S, RSS-210-S；
  • RVS-210真空回流焊系统，可使用助焊剂；
  • VSS-300真空钎焊系统，可使用助焊剂；
  • RSO-200回流焊炉；

应用领域：

• 无助焊剂焊接；
• 倒装芯片焊接工艺；
• 键合；
• Bump回流焊接；
• 微电子封装；
• 功率器件焊接；
• 晶圆热处理；
• 工艺研发；
• 质量控制；

技术规格：

• 加热区域：110mm x 110mm (RSS-110-S)；160mm x 160mm(RSS-160-S)；210mm x 210mm(RSS-210-S); 300mm x 300mm (VSS-300)；
• 腔体高度：40mm (选配80mm)；
• 视窗直径：60mm；
• 工艺气体控制：MFC控制，5nlm流量；
• 真空：10-3 hPa (高真空选配)；
• 工艺温度：400摄氏度(500摄氏度或650度选配)；
• 升温速度：>100 K/Min；
• 降温速度：>100 K/Min；
• 工艺控制：SIMATIC©人机界面控制，7英寸触摸屏；
• 水冷腔体；
• 电源：230V, 2.4 kW

选配项目：

• FA甲酸模块；
• MFC工艺气路；
• EH腔体增高；
• H2氢气模块；
• TC多通过测温；
• VAC真空模块；
• MP隔膜泵，MPC化学防腐隔膜泵；
• RVP旋叶真空泵；
• WC冷水机；