应用范围/适用尺寸：
半导体/微机电/发光二极管/被动元件（Semiconductor / MEMS / LED / Passive Component）:2“~ 12”
触控面板/显示器（Touch Panel / Display Panel）:550mm ~ 650mm
设备概要：
产速：0.1 ~ 3m / min
板面尺寸：100 mm X 100 mm ~ 550 mm X 650 mm
可处理板厚：0.3 ~ 2mm
含承水盘，蚀刻槽加热冷却温控
Chemical槽采水刀冲蚀
Chemical槽配置加热及冷却温控系统
Chemical槽附两个药液槽，更槽时可作切换，基本上是以计算片数来决定切换的时间
水洗采三道溢流水洗
水洗#2配备导电度控制器侦测水质
蜂鸣器加装可变电阻以便调整音量
机台底部附承水盘
具备50组生产参数记忆，作业员可选择参数组别，工程师可输入密码更改参数设定值
具省水省电功能
