基本规格：
1.腔体及机架：
A. Chamber and Frame:
腔体尺寸：约300mm（D）x300mm（W）x 250mm（H）（以实际设计为主）
Chamber material：铝A6061
2.抽气系统：
A. Pump：
a）干式真空帮浦（Dry Pump）=>For Chamber
model:Edwards iXL120
排气速度：65 cfm
B. Valve and Piping:（气动阀件）
Rough Valve:NW 50 Angle Valve×1
For vent：Ø1/4”Gas valve×1（CDA vent）
For gas：Ø1/4”Gas valve×1
手动阀（供断电泄气用）：Ø1/4”valve×1
3.测量：
真空测量：Convectron gauge，measuring range: 760 Torr ~ 10-3 Torr
ATM Sensor×1pc
4.基板乘载机构：
size：可置入200mm×2000mm玻璃，single piece
制程压力：可稳定于1pa，采用手动阀微调。
5.控制系统：
制程可使用全电脑控制，自行设定制程参数控制系统：
*PLC（三菱）控制系统+ PC control＋15”Touch Monitor
自动抽气、自动泄气程序设定
电脑即时设定真空度及气体流量设定，即时显示并记录真空度及气体流量设定
电脑即时显示并记录真空度及气体流量设定之曲线图，并可设定曲线之取样频率及范围
可由电脑打印真空度及气体流量设定之曲线图及Data并可输出为计算机档案
可查询整年度之历史数据，显示并记录机台所有异常数据（包括异常内容及异常时间）
可由电脑设定使用者权限管理（包含：TE、EE、PE、ME）
可由电脑自动执行腔体漏率测试，即时显示并记录测试结果
所有参数设定可自行设定误差值误差时间并提供警报
提供弹性化制程气体及管路设定控制界面，配合权限管理可自由增加或减少制程气体
