水平式(枚页式)蚀刻机

水平式(枚页式)蚀刻机

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具体成交价以合同协议为准
2023-06-29 13:39:01
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产品简介

蚀刻是将材料使用化学反应或物理作用后移除的技术,指通过曝光制版、显影后,将欲蚀刻部分的保护膜去除,使之于蚀刻时接触化学溶液以形成凹凸或镂空成型的效果

详细介绍

蚀刻是将材料使用化学反应或物理作用后移除的技术,指通过曝光制版、显影后,将欲蚀刻部分的保护膜去除,使之于蚀刻时接触化学溶液以形成凹凸或镂空成型的效果。在半导体制程中,蚀刻机是的设备之一,亦广泛应用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工。
科毅科技为追求本公司蚀刻机之优良质量,不断研发创新微影制程等技术,设立class 1000等级无尘室,使我们所生产之设备经过更严格的测试,以提供国内外厂商更精密优良的蚀刻机,以期提供客户高效率、高产能、高良率的蚀刻机设备。
设备概要:
产速:0.1 ~ 3 m/ min
板面尺寸:100 mm X 100 mm ~ 550 mm X 650 mm
可处理板厚:0.3 ~ 2 mm
含承水盘,蚀刻槽加热冷却温控
Chemical槽采水刀冲蚀
Chemical槽配置加热及冷却温控系统
Chemical槽附两个药液槽,更槽时可作切换,基本上是以计算片数来决定切换的时间
水洗采三道溢流水洗
水洗#2配备导电度控制器侦测水质
蜂鸣器加装可变电阻以便调整音量
蚀刻机底部附承水盘
具备50组生产参数记忆,作业员可选择参数组别,工程师可输入密码更改参数设定值
具省水省电功能
应用范围/适用尺寸:
半导体/微机电/发光二极管/被动元件(Semiconductor/MEMS/LED/Passive Component):2“~12”
触控面板/显示器(Touch Panel/Display Panel):550mm~650mm
提示

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