微波等离子清洗机

微波等离子清洗机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2015-12-02 00:00:10
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招远普斯玛等离子技术有限公司

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产品简介

WB300采用高密度微波等离子技术，用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理，微波等离子高度活性、高效，且不会对电子装置产生离子损害。 　

详细介绍

  • ◆ 外形尺寸（不包括报警灯）

     1000（W）×800（D）×1750（H）mm 

  •  ◆ 仓体结构（石英，约20升）

  • Φ 245mm ×400Lmm  
  • ◆ 等离子发生器（德国）

     频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作

     ◆ 控制系统

    触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

     ◆ 真空系统（真空压力PID闭环自动控制）

     英国爱德华斡旋式干泵 GV40

    美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器     

     中国台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 

     ◆ 充气系统

     美国MKS高精度电子质量流量计（2路气体配制）

     美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

     日本SMC及CKD高真空气阀组件

     
 

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