◆ 设备外形尺寸

 630（W）×650（D）×420（H）mm

  ◆ 仓体结构（耐热玻璃或石英玻璃，约10升）

 Φ215 × 300（L） mm

  ◆ 电极面积（外置电容耦合或电感耦合电极）

180（W） ×210（D） mm

频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

  ◆ 控制系统

 触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界电器元件,并具有手动、自动两种模式

  ◆ 真空系统

 德国莱宝（Leybold）真空泵   D16C （20m3/h）

 SMC截止阀、充气阀，德国（Inficon）压力传感器

  ◆ 压力控制

 PID闭环自动稳压控制

 2路工艺气体配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克（FITOK）气体管路