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977晶圆清洗机2

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产品简介

高效的紧凑型清洗装置，为您的流程提供支持ADT977晶圆清洗机系统设计用于在切割后清洁工件

ADT 977晶圆清洗机系统设计用于在切割后清洁工件。

系统有三种基本配置：

• WCS-977：圆形晶片，8"
• WCS-97LA：圆形晶片，12"

系统亮点：

• 雾化清洁
• 自动盖闭合
• 直观控制面板
• 过程监控
• 紧凑型设计
• 坚固，无振动
• 环保
• 选项：
• 内置排雾装置
• 二氧化碳注入
• 定制卡盘
• 清洁添加

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