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功能介绍:
1、HYB-2000TB石墨舟清洗机是用于清洗管式PECVD石墨舟的设备,用HF酸浸泡清洗然后再用纯水漂洗,最后用氮气吹干,适用于长度〈1500mm的石墨舟清洗.
2、设备分为2个清洗槽,每个槽都能满足酸槽要求,为浸泡式清洗,人工装/取工件,顶部有吸风罩.由气动隔膜泵将酸在两槽之间循环抽液,实现清洗功能.
3、有4只安装石墨舟片子的磁白色PP篮筐
技术参数:
电机功率 | 240W.220V |
使用的清洁剂 | HF |
压缩空气 | 0.5Mpa—07Mpa |
外型尺寸(L*W*H) | 3800*1410*1950mm |