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设备用途：硅片预清洗和单晶制绒
生产节拍：6～10分钟
装机容量： 185KW（380V 50HZ）
温控：采用PID控温，可精确控制液体温度0.5℃
排风量:
设备外形尺寸：（L×W×H） 9300×2200×2300（mm）
清洗能力：4000PCS/1h
工艺规程
槽号 工序 方法 工序 说明 处理液 工作 温度 （℃） 工序 时间 min 循 环 泵 加热 均热板 活 动 盖 板 清洗 溢 流 保 护 溢 流 功率 KW 加热器 材质 1 清洗 超声 碱 50～90 6～10 有 24 不锈钢 有 有 无 有 2 漂洗 超声 DI水 50～90 6～10 无 24 不锈钢 有 无 无 有 3 制绒 浸泡 碱 80～90 30～40 有 24 不锈钢 有 有 无 有 4 制绒 浸泡 碱 80～90 30～40 有 24 不锈钢 有 有 无 有 5 制绒 浸泡 碱 80～90 30～40 有 24 不锈钢 有 有 无 有 6 制绒 浸泡 碱 80～90 30～40 有 24 不锈钢 有 有 无 有 7 清洗 浸泡 碱 40～90 6～10 有 24 不锈钢 有 有 无 有 8 漂洗 漂洗 DI水 常温 6～10 无 无 无 无 有 无 9 漂洗 漂洗 DI水 常温 6～10 无 无 无 无 有 无
