设备特点：
本设备主要由Cassette Port和机器人围栏组成；Cassette Port放置Cassette的数量与 Index对接的主设备需求而定：
◆ Index Port：完成 Normal CST 的定位规整和读码检测等工序；
◆ Others：包含各部位感应Sensor、静电消除器、防护Cover等；
◆ Robot Fence：用于Robot的外围防护，是取放CST内Glass的工位（含EFU）； ◆ Cassette Port：由支撑Cassette的气浮台、规整Cassette的气缸、检测Cassette玻璃数量的Mapping Sensor、读取Cassette上ID的 RFID (读卡器）和静电消除器组成。 技术参数：
| Index Port外形尺寸(L*W*H) | 2880 mm * 1880 mm * 5060 mm |
| Index 层数x列数 | Level 1 * 2 |
| 层标高 | h1 = 1200 mm |
| 第二层标高 | h2 = 3592 mm |
| 设备重量 | 5500 kg |
| 功率 | 2 Kw（不含EFU的供电，不含ROB的供电） |
| 耗气量 | 700 L/min |
| Indexer围栏外形尺寸(L*W*H) | 5800 mm * 3080 mm * 6200 mm |
