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外形尺寸(L*W*H) | 1500 mm * 1500 mm * 2000 mm |
电源 | 三相 220 V,功率 6 KW |
气源压力 | 0.5~0.7 Mpa |
设备重量 | 3000 KG |
加工方式 | 振镜头 |
CT | 6S / PCS |
加工精度 | ± 50μm |
热影响 | < 100μm |
设备良率 | > 98% |
设备妥善率 | > 95% |
设备配置及功能 | 1、UV激光 2、高精度直线电机平台 3、高精度控制系统 4、视觉对位功能 |
波长 | 355nm |
功率 | 30 W |
频率 | 100 KHZ - 1600 KHZ |
脉冲能量 | 75uj |
脉冲持续时间 | < 15ps |
光束质量M | < 1.3 |
光束直径 | 5mm ± 0.5mm |
能量稳定性 | 能量波动 ≦ 2% |