紫外激光与绿光、红外相比，具有更小的热效应，随着激光波长的变短，各种材料都具有更高的吸收率，甚至直接改变分子链结构，在微、纳米级超精细加工用于对热效应很敏感的材料时，紫外激光更具明显的优势。

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微、纳米级超精细加工用于对热效应很敏感的材料时，紫外激光更具明显的优势。