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全自动光罩对准曝光机
全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出, 自动对位曝光,可一天24小时操作,减少人力需求,提高可靠性,增加产量, 本公司开发之高产量全自动曝光机, 对位制程每小时可产出250片以, 无对位制程每小时可产出350片以上, 产量为业界,两倍于其他厂牌机型。
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